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SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器重要參數(shù)

SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器重要參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào): HD-T1030

所屬分類:SUNX傳感器

更新時(shí)間:2025-02-25

簡(jiǎn)要描述:SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器重要參數(shù)HD-T1030
特點(diǎn)
無(wú)需任何安全措施
施工簡(jiǎn)便
低消耗電流70mA以下
高分辨率30μm
無(wú)需光軸調(diào)整
配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

詳細(xì)說(shuō)明:

SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器重要參數(shù)HD-T1030

特點(diǎn)

無(wú)需任何安全措施

施工簡(jiǎn)便

低消耗電流70mA以下

高分辨率30μm

無(wú)需光軸調(diào)整

配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)頭

檢測(cè)寬度    30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)

檢測(cè)距離    30mm(固定)(注2)

環(huán)境性能  保護(hù)構(gòu)造  IP40(IEC)

       使用環(huán)境溫度   0~+40℃(注意不可結(jié)露),存儲(chǔ)時(shí):-20~+55℃

       使用環(huán)境濕度 35~85%RH、存儲(chǔ)時(shí):35~85%RH

       使用環(huán)境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度3,000lx以下

       耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間

       緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表

              耐振動(dòng) 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時(shí)

       耐沖擊 加速度490m/s²(約50G) X,Y和Z方向各3

投光元件 紅色LED(投光波峰波長(zhǎng):650nm)

受光元件 光電二極管

材質(zhì)    本體外殼:PEI、前罩部:玻璃、安裝基座:鋁

電纜     耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器

(注2): 出廠時(shí)固定于安裝基座狀態(tài)下的值。

控制器

電源電壓 24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下

消耗電流 70mA以下(含檢測(cè)頭)

模擬輸出        模擬電壓

              ?輸出電壓:1±0.5V(全遮光時(shí))~5±0.5V(全入光時(shí))

              ?輸出阻抗:75Ω

量程調(diào)整功能 裝備15圈無(wú)限制調(diào)節(jié)器,可調(diào)整模擬輸出電壓的量程

轉(zhuǎn)移調(diào)整功能 裝備15圈無(wú)限制調(diào)節(jié)器,可調(diào)整模擬輸出電壓的偏置

預(yù)熱時(shí)間 30分以上

反應(yīng)時(shí)間 0.5ms以下(8V/ms以上)

分辨率    30μm(注2)

直線性    ±1.0%F.S.(檢測(cè)位置的檢測(cè)寬度28mm)(注3)

溫度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)

(注2): 分辨率為模擬輸出的峰值~峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。

(注3): 檢測(cè)頭和控制器組合后測(cè)定時(shí)的代表示例。

SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器重要參數(shù)HD-T1030



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